Mesurer 1 million de micro-perçages en quelques minutes seulement

Le concept de mesure multi-capteurs Werth s'applique désormais à la mesure de pièces issues de l'industrie électronique et de l'optique. Un exemple parfait est la mesure de plaques micro-percées en verre, pouvant atteindre 600mm× 600mm, et inclure jusqu’à 1 million de trous extrêmement petits, de l’ordre d’une dizaine de microns (Through Glass Vias - TGV). Les différents motifs - ou patterns – produits à l’aide de ces plaques sont ensuite séparés, métallisés et utilisés pour de l’«advanced packaging», soit l'empilement de circuits imprimés dans la fabrication de puces. Un contrôle à 100% de la position, du diamètre (≤ 100 µm), de la forme et de l'orientation des trous est requise. En outre, la planéité et l'épaisseur de la plaque de verre doivent être précisément évaluées. Les défis métrologiques résident dans la résolution structurelle nécessaire à la détection du diamètre et de la forme d’un très grand nombre de micro-trous, dont la détection requiert une vitesse de mesure nettement plus élevée qu'avec le traitement d'image conventionnel.

La VideoCheck Werth® HA a été spécialement conçue pour la mesure de pièces avec des tolérances de l'ordre de ±1µ. Le mode de fonctionnement breveté Rasterscanning HD permet la numérisation automatique de grandes zones, incluant de petits éléments géométriques, avec une grande précision et répond ainsi de manière unique aux exigences en matière de résolution et de vitesse de mesure. Il en résulte une image globale d'une résolution pouvant atteindre 20 000 mégapixels. Ainsi, position, diamètre et et tolérance de forme du 1 million d'alésages peuvent être mesurés en série en moins de 15 minutes. Le scanning à balayage HD est ainsi plusieurs fois plus rapide que les méthodes de mesure conventionnelles.

Werth offre probablement la plus grande gamme de capteurs au monde, permettant des mesures complètes à une vitesse jamais atteinte. La Fiber Probe® breveté par Werth est idéale pour mesurer la déviation de forme à différentes hauteurs de l'alésage et est considéré comme le micropalpeur le plus abouti au monde grâce à sa bille de palpage en verre (diamètre ≥ 20 µm). En outre, le Chromatic Focus Point Sensor est utilisé pour mesurer l'épaisseur et la planéité des plaques de verre (épaisseur de verre ≥ 200 µm). La mesure se fait grâce à la longueur d’onde de la lumière réfléchie, ce qui permet de réaliser des mesures sur des surfaces réfléchissantes ou transparentes, ainsi que des mesures d'épaisseur de couche.