Misurare 1 milione di microfori in pochi minuti

Il sistema di misurazione Werth-multisensore è ideale per la misurazione a tutto campo ( misurazione ) di pezzi provenienti dai settori dell’elettronica, della meccanica di precisione e dell’ottica. Un esempio è l’ misurazione e di lastre forate in vetro, prodotte in fogli completi di dimensioni pari a circa 600 mm × 600 mm con fino a 1 milione di fori estremamente piccoli ( fori, Through Glass Vias, –, TGV). I singoli campioni, o pattern, vengono successivamente separati, dotati di fori metallici passanti e utilizzati per il cosiddetto «advanced packaging», ovvero l’impilamento di circuiti nella produzione di chip. Per i fori è richiesta una verifica al 100% (misurazione ) della posizione ( posizione), del diametro (≤ 100 µm), nonché della profondità ( modulo ) e dell’orientamento. Inoltre, devono essere determinati l’ planarità e e lo spessore della lastra di vetro. Le sfide metrologiche risiedono nella necessaria risoluzione della struttura per il rilevamento del diametro e della forma dei fori in presenza di un numero molto elevato di fori, per il cui rilevamento è richiesta una velocità di misurazione notevolmente superiore rispetto all’elaborazione convenzionale delle immagini.

Il Werth VideoCheck® HA è progettato specificamente per l’ misurazione e di pezzi di precisione con tolleranze nell’ordine dei micrometri. La modalità operativa brevettata Rasterscanning HD consente l’acquisizione automatica di ampie aree con elementi geometrici di piccole dimensioni con elevata precisione, soddisfacendo così in modo unico i requisiti relativi a risoluzione e velocità di misurazione. Si ottiene un’immagine immagine complessiva con fino a 75.000 megapixel risoluzione. posizione, diametro e modulo per un massimo di 1 milione di fori possono essere misurati e valutati in serie in meno di 15 minuti. In questo modo, la scansione a griglia HD è molte volte più veloce rispetto ai metodi di misurazione convenzionali.
Werth offre probabilmente la più ampia selezione di sensori al mondo, che consente misurazioni complete a una velocità finora ineguagliata. Il sistema brevettato Werth Fiber Probe® è ideale per l’ misurazione e dell’ deviazione di forma e a diverse altezze dell’ foro e, con la sua palla di rilevamento in vetro (diametro ≥ 20 µm), è considerato il tastatore di maggior successo al mondo. Inoltre, viene impiegato il Chromatic Focus Point sensore, che serve per la misurazione dello spessore e l’ planarità e delle lastre di vetro (spessore del vetro ≥ 200 µm). La determinazione della distanza avviene tramite il colore della luce riflessa, il che consente di effettuare misurazioni anche su superfici riflettenti e trasparenti durante la misurazione dello spessore degli strati.

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