Rapide mesure de l'épaisseur des couches avec chromatique capteur

Les épaisseurs des couches qui peuvent être traversées par la lumière du visible à l'infrarouge domaine peuvent être mesurées avec le capteur ponctuel Chromatic Focus Point, le capteur linéaire Chromatic Focus Line et le multisensor Chromatic Focus Zoom (capteur optique breveté palpeur avec traitement d'image intégré et capteur de distance chromatique). Avec les capteurs ponctuels CFP et CFZ, l'épaisseur de la couche ciblé peut être mesurée à différentes positions de la pièce ou sous forme de balayage de contour avec une haute densité de points sur toute la surface de la pièce. Grâce au palpage linéaire du CFL, on obtient des avantages de vitesse pour mesure par rapport au CFP et au CFZ. Il est également possible de calculer le volume entre les interfaces.
Avec le principe interférométrique, la plage d'épaisseur de couche mesurable se situe entre 5 µm et 150 µm en utilisant la lumière visible, et entre 30 µm et 10 500 µm en utilisant le rayonnement infrarouge. Pour la mesure chromatique, outre les mesures "dans l'image" sur le site plage de mesure du capteur, c'est-à-dire sans mouvement des axes de l'appareil, il est possible d'agrandir le site plage de mesure par des mesures "sur l'image" avec un réajustement correspondant des axes de l'appareil. Les résultats de mesure dépendent de l'indice de réfraction des matériaux, c'est pourquoi celui-ci doit être connu très précisément. Une autre possibilité consiste à calibrer directement l'épaisseur de la couche à l'aide d'autres méthodes de mesure, comme par exemple Werth Fiber Probe® ou tomographie assistée par ordinateur.

Les domaines d'application typiques de mesure de l'épaisseur des couches sont les plaques de verre fines, les films, les entrefers, les épaisseurs de peinture, les couches de protection sur les composants électroniques, disques de wafers, les membranes de haut-parleurs ou les cathéters à ballonnet.